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刻蚀氮化铝薄膜微图形的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种属于微细加工技术领域的刻蚀氮化铝薄膜微图形的方法。具体包括如下步骤：（1）沉积氮化铝薄膜；（2）制备微掩模图形；（3）对氮化铝薄膜进行图形化：置入等离子体刻蚀真空腔中，产生氟基混合气体等离子体，利用物理轰击、化学反应或者两者综合作用对非图形区域的氮化铝薄膜进行刻蚀；（4）去除掩模层。本发明可以对微器件中的氮化铝薄膜进行高质量的图形加工，其优势在于图形质量高、对器件中的金属电极无腐蚀性、...
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