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背照式光门型CMOS图像传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种光电技术领域的背照式光门型CMOS图像传感器，其中：由光门栅极、二氧化硅和硅体而形成光门结构位于硅体背向入射光线的一侧，用于收集扩散而来的信号电子。信号电子转移栅极、信号电子转移源极区和悬浮扩散区与硅体和二氧化硅层构成一NMOS晶体管结构，位于硅体中与光门结构相同一侧。复位栅极、复位漏极区和悬浮扩散区与p型硅体和二氧化硅层也构成一NMOS晶体管结构，且与前面一个NMOS晶体管结构共用悬...
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