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单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法，该测试系统主要由数据采集单元、信号汇集转发单元、模/数转换单元、数据分析处理单元和数据显示输出单元组成，各单元之间通过信号线进行连接；使用本发明提供的测试系统和测试方法可以方便、准确地测量单晶炉热场的三维分布情况，可以快速获得在热场中分布比较均匀的几百万个以上的资料点，并将测试结果自动记录入数据库，绘制出比较精确的热场三维温度分...
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