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用于减少硅单晶棒截断崩边的工具

2004年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型涉及一种加工半导体硅单晶棒截断时，特别是大直径硅单晶棒截断时减少其崩边的工具，用于硅单晶棒的截断。它包含垫槽、二个夹紧块和一个直杆、直杆依次穿过二个夹紧块的中间孔，所说的垫槽为两边带有凹槽的垫槽，使二个夹紧块可在两边带有凹槽的垫槽内及直杆上移动。二个夹紧块的底面与两边带有凹槽的垫槽相互接触。该工具的优点是结构简单，使用方便，减少或避免硅单晶棒被截断时发生崩边的损失，尤其是减少或避...
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