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大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法，其方法步骤如下：
A）称取制作靶材的粉体原料；
B）按制作靶材的直径要求选定同直径的模具；
C）将模具放进上加压、固定下压头基准面的热压炉炉体中；
D）采用振动漏斗法装料，测量并保证模具内各局部的粉体堆积高度相同；
E）热压并附加保护气氛...
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