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红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜及其制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了属于薄膜技术领域的一种红外光学窗口用DLC/BP增透保护膜的构成及其制备方法。该膜系可用作3~5μm、8~12μm波段红外光学窗口的增透保护膜,内层BP膜、外层DLC膜依次沉积于光学窗口表面。DLC膜和BP膜的沉积均采用射频等离子体增强CVD技术,使用乙硼烷和磷烷为反应气体沉积BP膜的,使用甲烷为反应气体沉积DLC膜。本发明解决了BP膜与基体、DLC膜与BP膜附着力差的问题,制...
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