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修补光罩图形的方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了修补光罩图形的方法，用软件在光罩基板上找到与缺陷图案共X轴或共Y轴且形状和大小相同的无缺陷的原始参考图案，通过修补视窗逐步向缺陷图案方向拾取输出参考图案，这样对缺陷图案的定位较准确；并且将寻找与缺陷图案形状大小相同的无缺陷图案范围扩大，找到与缺陷图案形状大小相同的无缺陷的原始参考图案的概率提高，对无缺陷的原始参考图案进行复制作为参考图案，然后再参照参考图案对缺陷图案进行修补，使...
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