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具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管及反应系统

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管及反应系统。现有的气体反应系统存在石英喷嘴容易被凸出的晶片割破，导致气体反应管中的晶片全部报废的问题。本发明的具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管，包括一环形侧壁，其中，所述气体反应内管的内侧壁上设有数个石英喷嘴防护部件，所述防护部件用于容设一石英喷嘴，该防护部件的一侧固定于气体反应内管的内侧壁上，另一侧形成一阻挡部以防止硬物接触到石英喷嘴。于本发明一实...
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