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一种基于差频式薄膜体声波谐振器的微质量传感器

2006年 应用技术
  • 成果简介
  本发明的基于差频式薄膜体声波谐振器的微质量传感器,包括用于质量传感的质量传感薄膜体声波谐振器、用于产生参考频率的薄膜体声波谐振器、第一和第二高频振荡电路和高频放大、高频混频和低通滤波电路,及频率测量和显示装置;第一和第二高频振荡电路分别与质量传感薄膜体声波谐振器和薄膜体声波谐振器组成第一和第二高频振荡器;当质量传感薄膜体声波谐振器上的质量负载有微小的变化时,第一高频振荡器输出高频信号频率将产生...
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