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一种基于干法刻蚀负载效应的亚波长连续面形微结构制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种基于干法刻蚀负载效应的亚波长连续面形微结构制备方法，（1）首先选择基底材料，然后对干法刻蚀设备进行标定，建立缝宽与刻蚀速率的关系；（2）依据标定的结果，设计与目标结构相应的干法刻蚀掩模图形，并在基底表面制作金属材质的干法刻蚀掩模图形；（3）采用标定过程中使用的刻蚀参数对基底进行干法刻蚀；（4）刻蚀结束后，对刻蚀后的基底材料进行湿法腐蚀抛光，抛光完成后即可获得需要的目标结构。
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