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一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法

2007年

应用技术

成果简介

　　一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法：在基底表面蒸镀与基底黏结能力较弱的金属膜层，并在其表面制作目标微纳结构；将PDMS与固化剂进行混合，并浇铸于金属膜层表面；在25～95℃的环境中固化，形成弹性膜；掀起PDMS膜，去除黏附在PDMS膜表面的金属膜层，目标微纳结构将镶嵌与PDMS膜层内部，在PDMS表面分别旋涂厚度10～100nm的保护层，形成超分辨光刻掩模；在另一基片表面涂布光刻胶...

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