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基于隧道效应的微机械陀螺仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及微机械电子技术，具体是一种基于隧道效应的微机械陀螺仪。解决了现有微机械陀螺仪灵敏度不高等问题，该微机械陀螺仪包括固定于玻璃底板上的硅基框架，硅基框架上固定有一端与硅基框架固定的检测梁，检测梁的另一端通过连接块固定有驱动梁，检测梁固定驱动梁的一端固定有隧尖，与隧尖正对的玻璃底板上固定有隧尖检测电极；驱动梁下端面与玻璃底板对应地固定有电极；驱动梁上设活动驱动梳齿，与活动驱动梳齿配合的...
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