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用于聚合物高分子材料表面改性的装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开的用于聚合物高分子材料表面改性的装置，包括绝缘材料制的反应室，反应室的顶部具有杯口朝向大气的石英玻璃介质杯体，紧贴杯底置有一板式上电极，反应室中设有与上电极平行的下电极，下电极固定在加热器上，上电极与等离子体激发脉冲电源相连，下电极接地，加热器与反应室外的加热温控装置相连，化学气相沉积的供气系统及真空系统分别通过阀门与反应室相连通，供气管的喷嘴位于两上、下平行的电极之间。该装...
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