首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种半导体材料表面颗粒去除的清洗液及其清洗方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种半导体材料表面颗粒去除的清洗液及其清洗方法，它是由有机碱、非离子表面活性剂和纯水混合组成，其中有机碱的重量占22%～40%，表面活性剂的重量占3%～15%、纯水的重量占45%～75%；清洗方法包括：取清洗剂清洗；用去离子水超声；喷淋；烘干。本发明的优越性在于：清洗剂中选用的有机碱，能够根据结构相似相溶原理，溶解半导体材料表面的有机污染物，提高清洗剂均匀腐蚀性，保证清洗的一致性；加入了特...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统