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氧化锌薄膜制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种材料技术领域的氧化锌薄膜制备方法，步骤为：
　　第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合，然后去塞，加入乙二醇，持续加热并搅拌，待溶液冷却后，加入乙醇并于保温；
　　第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物...
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