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集成脉动芯片热管及其制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法，集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成，其中，与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后，再进行氧化反应生成氧化膜层，然后采用红外双面对准工艺，经显影、刻蚀，形成具有热管构型的微型冷却通道；在硼硅酸玻璃片上利用激光精准钻孔工艺在指定位置分别钻出抽真空孔和冷却液灌注孔，清洗后利用阳极扩散焊接工艺将硼硅酸玻璃片和...
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