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薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种薄膜单轴双向微拉伸装置及薄膜变形的测量方法，属于精密机械领域。该装置利用两个压电陶瓷分别从两个方向推动可沿滑轨移动的滑块与可调滑块，滑块及可调滑块与支架之间通过限位弹簧进行限位，滑块及可调滑块上固接有力传感臂，力传感臂顶端接载物台，在测量时，首先将待测的薄膜试件夹在载物台上，然后对压电陶瓷连续施加电压，使两个力传感臂向相反方向发生微位移，同时通过图像实时采集系统和附在力传感臂上的应变片记录...
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