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超临界流体微细电铸成型工艺及其装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种超临界流体微细电铸成型工艺及其装置，该工艺具有以下步骤：①在微细沉积单元的反应器中生成超临界流体电铸溶液；②由控制单元控制电源，选择合适的电参数，使金属离子沉积到微细沉积单元的阴极的光刻模板上；③沉积完毕后去除残留的光刻胶，获得微细零件。该装置具有CO_2气体钢瓶、高压泵、直流电源、控制单元、微细沉积单元、磁力搅拌器、恒温水浴、背压阀以及回收装置。采用本发明的工艺方法及其装置，...
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