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一种室温下制备氮化钛薄膜的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明属于薄膜技术领域，具体为一种室温下制备氮化钛薄膜的方法。该方法以氮化钛纳米粉为原材料，使直流稳压电源或恒电位仪，直流稳压电源的正极与导电基底相连接，负极连接对电极铂片或石墨，调节直流稳压电源或恒电位仪的输入电压在10～20V，控制电泳时间为0.5～10小时，电解液采用含5～20g/L的纳米氮化钛的悬浊液，电泳沉积过程中对溶液进行磁力搅拌；在通电的过程中，氮化钛沉积在工件的表面形成彩色...
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