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一种分离式超大功率半导体列阵外腔形变补偿量半量获取技术

2007年

应用技术

成果简介

本发明提供了一种超大功率半导体列阵中，克服外腔形变影响锁相质量，为避免降低锁相质量而补偿形变所需补偿量获取技术。与CCDl相关的一路测量外腔形变的子系统利用反射镜R2.1、反射镜、变焦光学器件、透镜，聚焦经外腔反射的一半He-Ne激光束成像于CCDl上，由处理器计算光斑质心、以及计算标定后的变化量，从而获取外腔镜一个方向的形变信息，并在其达到门限时，通过半量补偿量获取法获知补偿量，然后再配...

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