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复合钛铝合金靶及其制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
生产成本低、导热性能好的复合钛铝合金靶及其制备方法。技术方案是：复合钛铝合金靶，其特征在于：钛铝合金靶材的形状为在上或下表面上设置有凹槽的圆柱体，背靶的形状包括一圆柱体底座，圆柱体底座的上表面与钛铝合金靶材的下表面面积相同。制备方法包括下列步骤：将钛铝合金靶面在超声清洗器中清洗后，在钛铝合金表面涂覆金属化材料，然后放入真空炉中，在高于合金熔点的温度保温一定时间，然后冷却至室温；将A1、Cu...
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