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利用合成波干涉全场纳米表面三维在线测量方法和系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种利用合成波干涉全场纳米表面三维在线测量方法和系统，量程决定于合成波长，共路干涉结构。双周期光栅的双色散特性将谱宽40nm光束色散成两个波长在空间连续均匀分布的扇形光片，经准直成两个横向错位并部分重叠的下行光片，重叠部分形成合成波。合成波下行光片经两个共焦甲柱透镜扩束，再经一面镀半透半反膜的下行玻璃板，一半光强被反射作为参考光，另一半光强由不同被测点反射，与参考光干涉后由面阵...
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