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中频反应双靶磁控溅射制备二氧化硅膜并与氧化铟锡膜的在线联镀

2002年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目名称：中频反应双靶磁控溅射制备二氧化硅膜并与氧化铟锡膜的在线联镀属信息光电子和薄膜科技领域，适用于透明导电玻璃的规模生产。ITO （Indium Tin Oxide，氧化铟锡） 透明导电玻璃由超薄玻璃基片、二氧化硅和ITO膜组成，是信息光电子产业中液晶和各类新型显示器的基础原材料，又是很多功能膜的重要单元。廿世纪九十年代中，我国迅速发展成国际上生产这类产品的大国，用进口已镀二氧化硅膜的基片...
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