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一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明属于一种用聚焦离子束加工双铜环夹持的透射电镜样品制备方法。将用于夹持透射电镜样品的双铜环一端垂直固定在夹持器上，另一端加工成为一个145～160度的扇形开口；然后将预制样品平行固定在扇形开口上，即保持加工样品与夹具固定台平行；采用双束聚焦离子束对所需加工薄区样品进行精确定位，垂直从两侧剥离，直至加工到透射电镜观察所需厚度；最后从样品夹持器上取下双铜环，折叠双铜环中下环，固定已经加工完...
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