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一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置。在真空环境下通过微波电子回旋共振方法耦合氧气放电产生高密度的氧等离子体，所产生的等离子体与带负电的金属靶碰撞中性化为氧原子，用紫外光源照射样品台，由加热装置和冷却装置控制样品台温度，从而产生原子氧＋紫外＋温度循环三因素复合环境；具体为：对真空室抽真空进行真空预出气；然后通入氧气；通过磁场和微波耦合氧气放电产生的氧等离子体，氧等离子体在磁场约...
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