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一种硅片表面颗粒定点清除系统及方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种硅片表面颗粒定点清除系统，包括扫描物镜、高度和方位角调节装置、水平清洁气流输出装置、和定向能装置，所述定向能装置安装在高度调节装置上，并可相对扫描物镜做上下平动和绕扫描物镜做水平转动，定向能装置沿近水平方向对准硅片表面。本发明还包括一种利用该系统实现硅片表面颗粒定点清除的方法，采用扫描物镜确定颗粒位置，然后定向能装置发射辐射波将颗粒与硅片分离。本发明免除了传统方法在清洗后重...
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