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高精度压电陶瓷二维微动工作台系统开发

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　微动工作台在精密仪器、超精密加工、生物工程、机器人、微电子工程等许多高科技领域得到越来越广泛的应用。目前使用的微位移器主要有机械传动式、电致伸缩式、压电陶瓷式、弹性形变式等几种方法。其中压电陶瓷微动器以其体积小、承载力大、效率高、精度高、位移分辨率高和不产生噪声等优良特性成为目前最有前途的微位移执行器件。它已经在扫描隧道显微镜与机器人的精密微量进给、超精加工、生物工程、微电子工程和机器人装配的...
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