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制备纳米结构生物活性钛金属薄膜的方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种生物材料技术领域的制备纳米结构生物活性钛金属薄膜的方法，步骤如下：将医用植入物基材清洗、烘干备用；固定钛靶及基材；烘烤真空室，通入氩气，调节氩气流量在10sccm～30sccm，功率在40W～100W，气压在0.3Pa～4Pa之间，对溅射系统中的钛靶进行直流辉光溅射清洗；待完成溅射清洗钛靶后，氩气流量仍保持在30sccm，调节总气压在0.3Pa～3.6Pa之间，调节功率在40...
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