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LIGA和UV-LIGA技术工艺标准化研究

2007年

基础理论

成果简介

本课题来源于科技部“863”项目先进制造与自动化领域的微机电系统（MEMS）重大专项。LIGA技术是80年代在德国发展起来的一种制作三维MEMS的技术，一直受到了发达国家的重视，世界上各发达国家的同步辐射装置均建设了LIGA实验站。在德国和美国已建立了成熟的规范的LIGA技术工艺。近几年来，由IBM科学家发明的、经过美国MicroChem Corp商业化的SU-8光敏胶已成为MEMS研究和...

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