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1053纳米波长的高衍射效率石英透射光栅

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于1053纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，其特征在于该光栅的线密度为895～965线／毫米，光栅的深度为1.9～2.1微米，光栅的占空比为1／2，本发明光栅对1053纳米波长可同时使TE／TM偏振方向的＋1级布拉格透射衍射率高于85％，实现了对偏振模式的自由选择。特别是当光栅密度为920线／毫米，光栅深度为2微米时，TE和TM偏振模式的效率均大于94％。本发明矩形刻蚀石英光栅由微米电子...
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