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夹具三维运动的控制装置

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于物理气相沉积镀膜机的夹具三维运动的控制装置，其特征在于它由计算机、驱动器、两个步进电机和支撑支架三部分组成，所述的支撑支架固定在镀膜机真空室内，该支撑架固定第一步进电机，该第一步进电机的转轴上固定一直角钢板，第二步进电机的转轴穿过该直角钢板的另一钢板并固定在盖板外侧，该步进电机的转轴的顶端固定一夹具，该夹具上安装基片；所述的计算机与驱动器相连，该驱动器通过电缆分别与第一步进电机和第二步...
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