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太阳能电池片生产线设备卧式PECVD

2007年

应用技术

中期阶段

成果简介

PECVD淀积氮化硅膜时，不光是生长氮化硅膜作为减反射膜，同时也生成了大量的原子氢，这些氢原子不但具有表面钝化作用，同时也可以很好的钝化硅中的位错、表面悬挂键，从而提高硅片中载流子迁移率，具有体钝化的作用。可以极大的提高电池片转换效率，是太阳能电池生产线上最关键的设备之一。
我公司现生产的太阳能领域PECVD主要由炉体机柜、电气控制系统、气路系统、真空系统、压力控制系统...

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