国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

微机械芯片测试探卡及制造方法

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本发明涉及一种微机械芯片测试探卡及制造方法,它是采用微机械的方法在硅片上实现探卡的制造,所述的探卡是由按照芯片管脚分布而排布的悬臂梁阵列实现的,针尖在悬臂梁的末端,并且保证每个针尖的位置与相应的芯片管脚的位置一致。悬臂梁一端是探针,另一端键合在玻璃上。玻璃同时用作背面引线,引线将探针上的信号传输到测试电路。在一片硅片上通过改变探针的分布可以实现适用于不同芯片的探卡,从而降低了探卡的成本;释放梁...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统