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大规格透明石英玻璃板

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　国内半导体行业的迅速发展，集成电路所需的重要支撑件：石英玻璃片和石英玻璃清洗槽、退火托板的尺寸要求越来越大，而用于制造这些石英玻璃板和石英玻璃清洗槽、退火托板的高纯度大规格石英玻璃板国内尚无厂家生产。
　　本课题是省重点科技攻关计划《高纯度大直径石英玻璃锭》(编号：2004AA102A03)的延伸新产品，主要研究熔制大规格石英玻璃板，如何解决熔炉温场与石英玻璃熔体预成型、机械外加压...
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