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新一代显示器面板驱动用高速透明薄膜晶体管（TFT）

2007年

应用技术

成果简介

　　技术成果简介：
　　项目的主要内容和提出的依据：下一代显示技术用基于InGaZnO （a-IZGO）类透明氧化物半导体的TFT，载流子迁移率10～100 cm^2/Vs，开关比可达～108。与目前普遍采用的多晶硅和非晶硅相比，a-IZGO类透明氧化物半导体可在获得高驱动电流的同时减小元件间的不均匀性。非晶薄膜的元件间薄膜特性均匀性高，载流子迁移率较低（～0.1cm^2/Vs）；多...

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