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离子镀膜技术及装备

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　目前单一镀层的薄膜已经不能满足工业生产的需要，因此开发复合涂层工艺和适合工艺条件的专用设备非常重要，目前我校针对工业生产开发的复合镀膜工艺包括二氧化硅、氮化钛、碳化钛、氮铝化钛、三氧化二铝、非晶金刚石、氮化硼、氮化钽、氧化锌等，可以应用于机械、航空航天、纺织、微电子、光学等多种领域。
　　由于采用离子源，因此具有可控性、一致性，可以进行大规模生产，镀膜机可以根据生产工艺的需要进行专...
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