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多弧离子镀技术制备耐磨耐腐蚀薄膜技术

2007年

应用技术

成果简介

　　离子镀膜技术是当今世界最先进的表面技术之一，它用途广泛，适应性强，具有靶材离化率高、镀膜速度快、膜层附着强度好、沉积温度低、对环境无污染等特点。该设备可用于沉积超硬薄膜，如TiN、TiC、ZrN、CrN、MoN等，及多元复合膜如TiCN、TiAlN及TiCrN等，主要用于表面的耐磨耐蚀处理。实验室拥有多功能离子镀膜设备及相应的技术工艺。...

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