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高性能单晶硅谐振压力传感器

2007年

应用技术

成果简介

主要技术指标：一种高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A/D转换，既能测量绝压，也能测量差压，精度0.1%，其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。
技术应用领域：该传感器是压力传感器中的一种高端产品，非常适用于一些特殊环境如航空、航天、气象、地质、航海、油井和工业自动化等领域中的压力测量。该...

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