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微机械三轴加速度计

2007年

应用技术

成果简介

　　微机械加速度计是采用微细加工技术制作的微型化，低成本的线运动测量传感器。
　　性能指标：单个质量块可同时敏感三个方向的加速度。
　　特点：采用具有高深宽比的溶片工艺制作，相对目前采用较多的表面工艺方案，具有灵敏度高的优点。更重要的是单质量块同时敏感三个方向加速度的设计降低了表头的体积和重量。
　　适用范围：汽车，地质勘探，玩具等领域。
　　合作...

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