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沟道有热、电通道的SOIMOSFET器件

2007年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开了属于微电子器件范围的一种沟道有热、电通道的SOIMOSFET器件。在传统的SOIMOSFET器件中的掩埋绝缘层上设置了一个通道，将器件的沟道区和衬底相连在一起。该通道大大降低了器件的衬底热阻，克服了SOI器件的自热效应；完全消除了SOI器件的浮体效应。还使该器件保持了SOI器件漏区、源区寄生电容小的优点，并且保证了器件的隔离，保证SOIMOSFET器件的热稳定性和器件稳定工...
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