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整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL00107761.9
　　本发明属于微纳米技术领域，本发明包括微驱动器、柔性铰链、定位结构、调整旋钮。所说的微驱动器包括两个有平面度要求的光滑顶面和底面，该微驱动器嵌置在该柔性铰链中，该微驱动器的底面与设置在该柔性铰链中的调整旋钮接触，该微驱动器的顶面通过设置在该柔性铰链中的定位结构与柔性铰链相连接。本发明具有结构紧凑，运动与力的传递环节少，可靠性高，非线性误差小，同...
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