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一种片上LC无源低通滤波器及其制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种基于氧化多孔硅/多孔硅的片上LC无源低通滤波器及其制备方法，该滤波器含片上微电感、片上MIM电容、片上共面波导传输线和复合衬底，复合衬底由氧化多孔硅薄膜、多孔硅层和低阻硅片组成，多孔硅层夹在氧化多孔硅薄膜和低阻硅片之间，由片上微电感、片上MIM电容和片上共面波导传输线组成的片上LC无源低通滤波电路依附在氧化多孔硅薄膜上，用与CMOS工艺兼容的工艺制作而成，有体积小，易于制造，生产成本低...
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