首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

微电子机械毫米波压控相移器的制造方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种微电子机械（MEMS）毫米波压控相移器的制造方法，属微电子固体器件制造的技术领域，以产品的半成品，即经加工的、表面刻蚀有接地导带、信号线和接线端的条带图案和信号线上生长有氮化硅层的基片为原料，通过采用调配的环化橡胶负性光刻胶作牺牲层6和光刻胶涂布技术，在该半成品上制成20～30多个高低一致、宽度相同、排列整齐的金属微桥，有成品率高、电性能优越：开启电压低、相移量大，且连续可调的优点，特...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统