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高性能薄膜材料的多功能等离子体系统开发

2007年 应用技术
  • 成果简介
一、项目所属行业
新材料与新技术；纳米技术与纳米器件。
二、项目内容
通过对各种薄膜材料的生长方法、制备过程等进行系统研究总结的基础上，开发具有多种功能的具有优良性价比的等离子体沉积系统，将磁控溅射、等离子体化学气相沉积、过滤阴极电弧、等离子体表面处理等功能有机的结合起来，从而解决不同薄膜材料需用不同的制备方法等的关键工艺问题，并...
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