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YYS型准分子激光器

2007年 应用技术
  • 成果简介
成果技术特征:
国家攻关、获中科院科技进步奖项目,磁脉冲压缩开关专利技术,紫外波段强激光光源。具有高重复频率、高脉冲能量、长气体工作寿命和功率输出稳定功能,整机配有计算机控制系统,操作简便,适合纳入自动控制系统。
激光系统基本技术指标:
1、YYS-1 中功率准分子激光器
激光波长 193nm 248nm...
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