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低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法

2007年

应用技术

成果简介

本发明是通过两个驱动电极的设计，实现一种低阈值电压直交流可分的MEMS开关的结构设计，属于微电子机械系统(MEMS)技术领域。传统的MEMS电容式开关一般采用固支梁结构，这种结构的MEMS开关具有如下的缺点：较高的阈值电压，通常尺寸的MEMS电容式开关的阈值电压约为20～50V，而且直流和交流加载在同一条信号线上。
与通常的膜开关相比，本发明的优点为：
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