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高性能、低成本烧结三氧化钨靶材的制备

2007年 应用技术
  • 成果简介
1．项目介绍
三氧化钨薄膜在光学成像（各种普通照相机、数码相机、拍照手机、摄相机、各种光学镜头等）、太阳能电池、节能建筑玻璃等领域有巨大的应用前景和市场，三氧化钨靶材是溅射制备三氧化钨薄膜的关键材料，目前我国还不能生产，每年需大量从国外高价进口。该项目利用烧结工艺，采用普通三氧化钨粉末为原料制备高品质、低成本的三氧化钨靶材，品质超过了国外2006年生产的靶材质量水平。 ...
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