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白光相移干涉微表面检测系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
白光干涉术克服了相位模糊问题，与激光干涉法比较，具有测程范围大、精度高等特点，适用于对具有阶梯突变的各类微纳尺度轮廓表面的测量。本系统采用Michelson结构，以LED作为光源，用CCD面阵在成像面处接收干涉光场，扫描干涉信号数据经图像卡采集后送入计算机，通过有关算法处理，可实现微表面的三维重建，并可获得轮廓形貌数据。
白光相移干涉微表面检测系统在光纤通信技术、纤维光...
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