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结合MEMS技术的表面粗糙度测量方法研究

2007年

应用技术

成果简介

　　本项目基于光散射原理结合MEMS微镜技术研究一种表面粗糙度测量的新方法。高新技术的日新月异和工业生产的精密化、自动化和智能化对测试技术不断提出新的要求，将MEMS微镜技术应用于表面粗糙度测量是一种大胆的尝试。目前基于MEMS技术的各种光学开关、微反射镜阵列、微透镜等光学器件已经广泛应用于光通信、光扫描仪、显示器、传感器、光执行器和自适应装置的产品中。项目的研发成功将意味着新的方法不仅具有光学测...

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