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基于微系统的小功率微波等离子体源的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
基于微系统的小功率微波等离子体源就是用微小微波功率使气体电离，产生微型等离子体，它具有易与其它MEMS系统集成等特点。本课题拟对基于微系统的小功率微波等离子体激励机理及微带电路的微波等离子体源技术作深入研究，通过采用MEMS工艺及对微带电路基片材料的研究与优选，以达到微波等离子体源的小型化目的；通过对微小功率微波等离子体源的微带结构和参数的仿真和优化，研究新结构微波等离子体源，以达到微小功...
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